SR210A-210/2.65 SR12A-12/1.46 SR7A-4/0.59 SR7A-7/0.90 SR25-20/1.76 SR25A-12/2.01
工业清洁机器人 底盘合装型移动机器人 新能源电池行业移动机器人 辅助装配型移动机器人 叉式搬运移动机器人 重载型移动机器人
桁架机器人 核应急机器人 探龙系列蛇形臂机器人 重载垂直多关节机器人 智能布设/回收机器人 长臂展机器人
TSS-3000 EFEM 真空机械手 Archer 系列 真空传输平台Diagram 600 真空机械手PHOENIX B系列 真空机械手PHOENIX-S25系列 真空机械手PHOENIX PLUS B系列
GCR系列GCR25-1800 GCR系列GCR10-2000 GCR系列GCR7-910 GCR系列GCR12-1300 GCR系列GCR3-618 GCR系列GCR5-910
座椅标准系列激光焊接系统 三维五轴激光切割机 激光拼焊生产线 纵剪机组自动换刀单元 剪板机机器人自动上下料单元
自动检票机（AGM） 自动售票机（TVM） 互联网售票机（iTVM） 智能客服中心 自助客服一体机(iBOM) 自动驾驶机器人
智能助行器 电动站立助行器 下肢可穿戴训练器 下肢动力外骨骼机器人 上下肢主被动训练系统-座位款 上下肢主被动训练系统-床边款
汽车焊装生产线 前、后悬总成底盘合装移动机器人解决方案 新能源车载充电器OBC生产线 新能源电驱动装配线
锂电铜箔制造智能物流 锂电行业移动机器人解决方案 锂电智能物流系统解决方案 锂电化成分容生产测试系统
刮板输送机结构件自动化焊接生产线 集装箱底部托盘柔性化焊接工作站 工业机器人船舶智能焊接解决方案 厢式物流车厢体智能生产线
机器人+智慧康养 医药领域智能物流解决方案 智能康养系统解决方案 丁基胶塞智能车间
工业机器人液晶电视综合解决方案 智能化服务器制造生产线
LNG罐箱智能产线 轮胎行业智能物流解决方案 石化领域智能物流解决方案
工业机器人钢结构智能焊接系统 天窗&门环产品激光拼焊线
自动售检票（AFC系统） 综合监控（ISCS系统） 环境与设备监控（BAS系统） 智慧出行平台
工业机器人教育实训系统 协作机器人智能教室
智能车间星卫来机器人清洁方案 成品面箱自动化输送码垛系统 家居木门全自动化装备生产线 复合机器人烟草机械行业解决方案
您当前所在位置：首页 > 产品中心 > 洁净机器人
一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制，拥有新松自主研发的控制器，Aligner，方便在视窗观察的可拆卸单元门，易移动框架，带有隔离的风扇 过滤系统，可拆分的设备结构，从而保证设备洁净、可靠的运行。
直驱电机结构，全新的IO模块，具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。
作为半导体制造生产线的必要设备，本平台一般包含在整套半导体制造设备系统之中，是硅片盒（Cassette）到工艺腔（CVD，ALD，PVD等）之间的硅片搬送系统。
具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能，可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性使用要求。
具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能，可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性、高温工况使用要求。
SEMI认证S2、F47 接口可用户定制
LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于8寸和12寸晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。
SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置，适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒，效率高，稳定性好，重复定位精度高，洁净等级为Class1；具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能，能自动检测盒内各槽晶圆状态，例如单片、跨片；具有开盒时自动识别盒内晶圆尺寸的功能，更加便于使用；具有灵敏的晶圆滑出保护功能，可以自动监测盒内异常状况，有效保护晶圆；具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能，可以有效保护机械手以及人身安全；具有RFID读取功能。新松SMIF为全流程中国大陆自主设计制造，推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内半导体设备的发展。
立式炉Mini STK应用于立式炉管设备前端，适用于FOUP的转运 、暂存和开盒。
高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。
高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制。
高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制
高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护， SEMI认证，提供接口及末端定制
高洁净等级，高速传片，碰撞保护， Mapping，SEMI认证S2，F47
您当前所在位置：
